測量顯微鏡是采用用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于錄象磁頭、大規模集成電路線寬以及其它精密零件的測試儀器。廣泛地適用于計量室、生產作業線及科學研究等部門。工作臺除作X、Y坐標的移動外，還可以作360度的旋轉，亦可以進行高度方向做Z坐標的測量；采用雙筒目鏡觀察。照明系統除作透、反射照明外還可以作斜光線照明。儀器進一步可連接CCD電視攝像頭，作工件的輪廓放大；亦可連接計算機進行數據處理等測量。

測量顯微鏡又稱為工業顯微鏡，影像測量系統，屬于非接觸式顯微測量，廣泛地應用于計量室、生產作業線及科學研究等部門。適用于內部尺寸、外部尺寸、角度、深度、高度、比較、彈性工件、非接觸、中心距、螺紋、齒輪、與半導體/LCD制造相關等顯微測量。